裝置本體后面需要有泵和排氣管的安裝空間。

安裝尺寸
寬度：470mm，深度：350mm，泵安裝需要約250mm的空間。
桌面尺寸最好是深度600mm。

設(shè)備后面安裝排氣管和電源線需要約 100 mm 的空間，設(shè)備旁邊安裝泵需要約 210 mm 的空間。

需要安裝尺寸
為寬680mm、深450mm的空間。泵可以安裝在設(shè)備的左側(cè)或右側(cè)。

這是將安裝在桌面上的設(shè)備連接到安裝在地板上的旋轉(zhuǎn)泵的示例。
真空排氣管長1m。由于它是柔性管，因此會(huì)因抽真空而收縮約10%。如果桌子高度為750mm或以上，排氣管可能無法到達(dá)，因此請(qǐng)?zhí)崆坝镁沓邫z查安裝高度。如果必須將旋轉(zhuǎn)泵放置在難以到達(dá)的位置，請(qǐng)安裝額外的排氣管。但由于降低排氣效率的影響，最大長度被限制在2m。
如果桌子背面靠墻，則可以將旋轉(zhuǎn)泵放置在設(shè)備左側(cè)的地板上。
我們建議安裝主機(jī)的工作臺(tái)或桌子的高度在650mm至750mm之間。
旋轉(zhuǎn)泵的安裝空間約為210mm寬、350mm深。

在設(shè)備開發(fā)階段，我們考慮確?！翱梢苑胖梦锲返墓ぷ骺臻g"。因此，我們能夠在鋨室前面、鋨室上方的蓋子以及真空室周圍創(chuàng)建一個(gè)平坦的空間。

準(zhǔn)備樣品需要一些精密的工具。 SEM樣品架、鑷子、碳帶、竹簽等特別是在小型實(shí)驗(yàn)室中，工作空間是有限的。
我們希望它能夠很好地用作工作臺(tái)或工具存儲(chǔ)。

岸田化學(xué)
四氧化俄安瓿
(1g)

和光純藥
四氧化俄安瓿
(0.5g)

鋨廢液收集服務(wù)
收集單位：
1L、5L、20L

*液體廢物只能由我們的用戶接受。

*對(duì)于HPC-20，在定期維護(hù)期間，我們將更換閥門、傳感器、填料、RP油、活性炭過濾器，并清潔腔室內(nèi)部。

*如果您想自行維護(hù)，也可以購買必要的零件。

*由于產(chǎn)生廢液和廢物，一般將設(shè)備寄回我公司進(jìn)行維護(hù)。我們將免費(fèi)處理維護(hù)期間的廢液。

*我們還可以承接腔室部件的清潔工作。

*我們還提供廢液收集服務(wù)。