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你的晶圓/玻璃基板真的干凈嗎?L3SQ給你一個(gè)確切的答案

發(fā)布時(shí)間:2025-12-25 點(diǎn)擊量:80

在精密制造的世界里,一個(gè)肉眼幾乎無(wú)法察覺(jué)的微塵,可能就是導(dǎo)致整批產(chǎn)品性能降級(jí)甚至報(bào)廢的元兇。尤其是在晶圓、玻璃基板、光學(xué)鏡片等平坦如鏡、價(jià)值高昂的基材上,傳統(tǒng)的檢測(cè)方式往往在“似乎干凈"和“確實(shí)干凈"之間留下了一片令人不安的模糊地帶。

當(dāng)你在強(qiáng)光下側(cè)目而視,或依賴普通顯微鏡進(jìn)行抽檢時(shí),是否曾對(duì)那“應(yīng)該沒(méi)問(wèn)題" 的判斷心存一絲疑慮?微米級(jí)的顆粒污染物,正在這片模糊地帶中悄然潛伏,威脅著產(chǎn)品的良率與可靠性。

今天,這種不確定性可以被終結(jié)。日本CSC公司的Dust Finder L3SQ條形LED暗場(chǎng)照明檢查燈,正是為給出一個(gè)確切的、可視化的答案而誕生。

為何傳統(tǒng)方法給不了你“確切答案"?

對(duì)于完1美的平坦光滑表面,傳統(tǒng)的正面直射光(明場(chǎng)照明)會(huì)使大部分光線直接反射入人眼或鏡頭,表面本身看起來(lái)非常明亮,但恰恰是這種明亮“淹沒(méi)"了微小顆粒的成像對(duì)比度。而依賴人員經(jīng)驗(yàn)的側(cè)光觀察,則存在光照不均、標(biāo)準(zhǔn)不一、易視覺(jué)疲勞等問(wèn)題,難以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、可靠的判定。

L3SQ的工作原理:讓不可見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)

L3SQ的核心在于運(yùn)用了經(jīng)典的暗場(chǎng)照明原理。它通過(guò)特制的條形光源,以極低的角度將高亮LED光投射到待檢表面。

  • 對(duì)于完1美平整的區(qū)域:光線會(huì)發(fā)生鏡面反射,幾乎不會(huì)進(jìn)入上方的觀察者眼中,因此背景呈現(xiàn)均勻的暗場(chǎng)。

  • 一旦遇到微粒、劃痕或凹陷:光線會(huì)發(fā)生散射。這些散射光如同黑夜中的燈塔,清晰且明亮地進(jìn)入人眼,使得污染物在暗色背景上呈現(xiàn)出鮮明、銳利的亮點(diǎn)或線紋。

這種技術(shù)路徑的轉(zhuǎn)變,從根本上改變了檢測(cè)的邏輯:它不再依賴于觀察背景反射光的強(qiáng)弱,而是直接捕捉污染物本身的散射信號(hào),從而將檢測(cè)的靈敏度與可靠性提升到一個(gè)新的維度。

不僅僅是“看見(jiàn)",更是“清晰界定"

L3SQ提供的不僅僅是一個(gè)光源,更是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的檢測(cè)環(huán)境,它消除了人為和環(huán)境變量,讓潔凈度得以被客觀評(píng)估:

  1. 超高靈敏度:在理想條件下,能夠幫助操作人員穩(wěn)定檢測(cè)到最小直徑約10微米(μm) 的顆粒物。這相當(dāng)于人類紅細(xì)胞大小的級(jí)別,為早期污染預(yù)警提供了可能。

  2. 卓1越的對(duì)比度:可選配的專用綠色濾光片能進(jìn)一步優(yōu)化人眼視覺(jué)感受,提升信噪比,讓目標(biāo)信號(hào)更為突出,大幅降低誤判和漏判率。

  3. 減輕視覺(jué)疲勞:均勻的暗場(chǎng)背景避免了強(qiáng)光直接刺激,檢查人員可以長(zhǎng)時(shí)間工作而不易疲勞,保障了檢測(cè)質(zhì)量的持續(xù)穩(wěn)定。

  4. 為固定工位而生:輕巧的燈體與專用支架設(shè)計(jì),使其能完1美集成于關(guān)鍵工藝點(diǎn)(如貼合前、鍍膜前、包裝前)的檢測(cè)工位,實(shí)現(xiàn)流程化、即時(shí)性的快速篩查。

賦予關(guān)鍵行業(yè)確切的品質(zhì)掌控力

  • 半導(dǎo)體制造:在晶圓分選、封裝前,快速進(jìn)行表面顆粒的非接觸式目檢抽查,及時(shí)剔除受污染單元,避免價(jià)值損失向下游傳遞。

  • 平板顯示與觸摸屏:在玻璃基板投入光刻、CFOG/FOG等精細(xì)工藝之前,確保其表面無(wú)塵、無(wú)纖維附著,是減少M(fèi)ura缺陷、提升良率的基石。

  • 精密光學(xué)元件:對(duì)于相機(jī)模組鏡片、激光器窗口等元件,L3SQ能在組裝前揭示附著物,保障最終成像質(zhì)量與光學(xué)性能。

  • 高光表面加工:在高檔金屬面板、玻璃蓋板出廠終檢中,它是發(fā)現(xiàn)細(xì)微劃痕、指印和顆粒的利器,守護(hù)產(chǎn)品的外觀完1美度。

結(jié)論:從“可能"到“確定"

在質(zhì)量就是生命的精密制造領(lǐng)域,“可能干凈"的代價(jià)我們無(wú)法承受。CSC Dust Finder L3SQ通過(guò)科學(xué)的暗場(chǎng)照明原理,將表面潔凈度的判定從一種依賴經(jīng)驗(yàn)的“估測(cè)",轉(zhuǎn)化為一種基于可視化證據(jù)的“確定"。

它給出的,不是又一個(gè)模糊的選項(xiàng),而是一個(gè)清晰的答案。當(dāng)您再次面對(duì)“晶圓/玻璃基板真的干凈嗎?"這一核心質(zhì)控問(wèn)題時(shí),讓L3SQ成為您值得信賴的最終裁決者。


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